НПК «ОСМАТИКА» проектирует и производит комплексные системы получения деионизованной, особо чистой и сверхчистой воды для предприятий микроэлектроники и электронной промышленности.

Собственное производство

Инженерная экспертиза

Проектирование под задачи объекта

Автоматизация и контроль систем

В основе каждого эффективного решения:

Сверхчистая вода для микроэлектроники

До 18,2 МОм·см

Удельное сопротивление при соответствующей конфигурации системы.

Системы UPW разрабатываются индивидуально

С учётом качества исходной воды, необходимой производительности и требований технологического оборудования.

Контролируемые параметры

01 / Полупроводников

02 / Микросхем

03 / Печатных плат

04 / Кремниевых пластин

05 / Устройств памяти

07 / Оптоэлектроники

08 / Других высокотехнологичных компонентов

08 / Других компонентов

06 / Дисплеев

Сверхчистая вода для технологических процессов

Требования к качеству сверхчистой воды

В производстве полупроводников, интегральных микросхем и печатных плат качество воды напрямую влияет на стабильность технологических процессов.

Растворённых солей
Кремния
Органических соединений
Частиц
Микроорганизмов

Система проектируется с учётом технического задания заказчика, требований производственного оборудования, внутренних стандартов предприятия и применимых нормативных документов.

Обеспечить требуемые характеристики воды не только после установки очистки, но и непосредственно в точках технологического потребления.

Точность процессов

Критичны даже следовые концентрации:

Сверхчистая вода применяется при производстве:

Задача системы:

Распределение воды

Технология получения сверхчистой воды

Система UPW представляет собой многоступенчатый технологический комплекс. Типовая технологическая схема:

Исходная вода

Предварительная очистка

Обратный осмос I ступени

Обратный осмос II ступени

Электродеионизация

Ионообменная полировка

УФ-обработка

Накопление

Рециркуляционная петля UPW

Точки потребления

Количество ступеней и состав оборудования определяются по результатам анализа исходной воды и требованиям к конечному продукту.

Хранение и распределение UPW

Единый

{

}

комплекс UPW

Получить требуемое качество воды недостаточно — необходимо сохранить его до точки потребления, поэтому хранение, распределение и рециркуляция проектируются как часть единого комплекса UPW.

Особое внимание уделяется:

Подробнее

04/

Состояния мембранного оборудования

03/

Уровней в накопительных ёмкостях

01/

Электропроводности подготовленной воды

02/

Давления и расхода

Система управления

Автоматизация и контроль

Системы НПК «ОСМАТИКА» оснащаются промышленной автоматикой.

В зависимости от проекта контролируются:

Система управления может включать

Архивирование данных, аварийную сигнализацию, диагностику оборудования, удалённый мониторинг и интеграцию с АСУ предприятия. При необходимости предусматривается автоматическое поддержание температуры воды.

Расход

Давление

Удельное сопротивление

Электропроводность

Другие технологические параметры

Температура

Комплексный подход НПК «ОСМАТИКА»

Подход

В рамках одного проекта объединяются:

НПК «ОСМАТИКА» сопровождает проект на всех этапах:

Анализ воды

Разработка технологии

Определение требований

Проектирование

Производство

Монтаж

Пусконакладка

Сервис

01

Индивидуальное проектирование

02

1 и 2-х ступенчатый обратный осмос

03

Системы EDI и финишная ионообменная очистка

04

Материалы AMBER и контроль TOC

05

Хранение и рециркуляция UPW

06

Промышленная автоматизация

07

Собственное производство оборудования

НПК «ОСМАТИКА» проектирует системы сверхчистой воды как единый технологический комплекс — от источника исходной воды до точки потребления на производственной линии.

В результате заказчик получает единую систему UPW, спроектированную под требования конкретного технологического процесса.

Спроектируем систему UPW под ваш технологический процесс

Передайте специалистам НПК «ОСМАТИКА» исходные данные — мы определим необходимую степень очистки, разработаем технологическую схему и подберём состав оборудования под ваш объект.

Качество исходной воды

Характеристики воды в точке потребления

Требуемая производительность

Для предварительного подбора необходимы:

Получить консультацию

Требования и контролируемые параметры

В зависимости от проекта могут учитываться:

ГОСТ 9.314
ОСТ 11.029.003−80
ASTM D5127
Стандарты SEMI

Основные контролируемые параметры:

удельное сопротивление и электропроводность;
содержание растворённых ионов;
содержание кремния;
TOC — общий органический углерод;
количество частиц;
микробиологические показатели.

Хранение и рециркуляционная петля UPW

Подготовленная вода непрерывно циркулирует между накопительной ёмкостью, системой финишной обработки и точками потребления.

При проектировании учитываются:

гидравлический режим;
скорость движения воды;
конструкция точек отбора;
дренируемость;
возможность санитарной обработки;
материалы трубопроводов и арматуры.

Для трубопроводных систем могут применяться PVDF и специализированные марки PP.

Для монтажа могут использоваться технологии:

IR — инфракрасная сварка;
BCF — сварка без внутреннего валика и щелей.
Рециркуляционный контур может оснащаться УФ-модулями, фильтрами смешанного действия и средствами непрерывного контроля параметров.